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直拉单晶,多晶铸锭掺杂用高纯度母合金图1

直拉单晶,多晶铸锭掺杂用高纯度母合金

2022-06-27 12:527090询价
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母合金掺杂剂

■掺杂,又称配料,掺杂的目的主要是用来改变硅熔体中施主杂质(如磷)或受主杂质(如硼)的杂质浓度,使其生长出的单晶电阻率达到规定的要求。所谓“母合金”就是杂质元素与硅的合金。本公司提供以下多种类型母合金:
■形状

■块状

■片状

■棒状

■掺杂类型

■硼

■磷

■型号

■P型

■N型

■电阻率

■0.001-0.006 Ω.CM

■确保每段电阻率偏差在0.001或0.0005范围内

■浓度

■硼含量(atom/cm3)=1.1732E20~1.6184E19

■磷含量(atom/cm3)=7.3763E19~9.6552E18

■碳含量(atom/cm3)<5E16

■氧含量(atom/cm3)<1E18


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