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产品特点
检测对象气体:胂、膦、硅烷、氢气等
性能参数
* 于检测半导体特气的微量泄漏
* 采用声光报警
型号 | XP-703D |
---|---|
检测对象气体 | 半导体材料气体(胂、膦、硅烷、氢气等) |
检测原理 | 型半导体式 |
采样方式 | 自动吸引式 |
可检测浓度 (单位:ppm) | 砷烷 磷烷 B2H6 硅烷 氢气 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
检测表示 | 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 |
应答速度 | 10秒以内 |
产品特点
检测对象气体:胂、膦、硅烷、氢气等
性能参数
* 于检测半导体特气的微量泄漏
* 采用声光报警
型号 | XP-703D |
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检测对象气体 | 半导体材料气体(胂、膦、硅烷、氢气等) |
检测原理 | 型半导体式 |
采样方式 | 自动吸引式 |
可检测浓度 (单位:ppm) | 砷烷 磷烷 B2H6 硅烷 氢气 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
检测表示 | 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 |
应答速度 | 10秒以内 |