日立FT160、FT160s、FT160L射线荧光镀层厚度测量仪
日立主营EA1000AIII、EA1000VX、EA1200VX、EA1400VX、EA6000VX、EA8000VX、FT110A、FT160、FT160s、X-Strata92，其中FT160系列产品,搭载了性能X射线管，实现了高精度的测定。FT110A极微小准直管和可变焦距光学系统的组合，实现了对极微小部分的测定。对有段差的样品也适用。
1. 高速测量：通过X射线检测机的改良，对于代表性的Au、Pd、Ni、Cu（金、钯、镍、铜）多镀层测量，相比以前机型，效率提高了2倍以上。
2. 对应超小型的芯片零部件的厚度测量（FT160h：FT160s通过新时开发的聚光导管，可以测量超小型芯片零部件（电容、电阻等）的电极部的镀层厚度测量。
3. 兼顾安全性和简便性：采用防止X射线泄露的密集型框架和大开口且可以方便开启和关闭的样品门，兼顾安全性和简便性。「FT160s」可以对应600×600mm的大型线路板。