RGA系列残余气体分析仪
可以定量和定性分析出真空腔中残余气体的浓度和成分。
RGA系列气体分析仪特点
◇100，200，和300amu
◇优于1amu的分辨率
◇6个量级的动态范围
◇可检测5 x 10-14Torr
◇实时RGA Windows和LabVIEW软件
◇质谱，泄漏检测和压力对时间方式
◇现场可更换的电子倍增器和灯丝
◇RS232计算机接口
RGA系列残余气体分析仪选型表
气体分析仪（RGA）划分为100、200、300amu三种型号，其优异的性能使其成为真空分析仪中先产品。每一个RGA系统都由一个四级杆探针和电子控制单元组成，实时分析windows软件包可以更方便用于数据采集和分析，并可进行远程控制。
探测器类型 标准法拉第杯(FC), 可选电子倍增 (EM)
分辨率 优于0.5amu
灵敏度(A/Torr) 2 × 10?4 (FC), <200 (EM).
探测极限 5 × 10?11 Torr (FC),5 × 10?14 Torr (EM)
测试范围 10?4 Torr to UHV (FC 10?6 Torr to UHV (EM)
操作温度 70 °C (max.)
工作温度 300 °C (without ECU)