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晶圆清洗机,刻蚀设备
适应工件:2~8寸晶圆片清洗批量产能:8寸25PCS/批工艺流程:Cu蚀铜→-QDR→QDR←QDR-Ti刻蚀工艺槽功能:循环过滤+加热冷却+上下抖动+花篮提升主要材料:金属骨架+PVC/PPW壳板,槽体采用PPN/PVDF材质运送方式:手动传
2022-04-23
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