电子生产车间有机废气处理设备挥发性有机物（VOCS）是一类重要的空气污染物,通常是指沸点50~260、室温下饱和蒸气压超过133.132kPa的有机化合物,包括烃类、卤代烃、芳香烃、多环芳香烃等。
2活性炭吸附法 可使用吸附能力较强的活性炭类物质，吸附有机废气中的有害物质，此种方法净化率较高，且对设备的投资较小；
3吸收液吸收法 即将有机废气鼓入含相应吸收剂的吸收液中，从而截留有机分子的方法，注意吸收液饱和后须及时更换。
电子生产车间有机废气处理设备
针对电子行业 VOCs排放特点采用相应末端治理技术，主要还是吸附法、焚烧法，吸附法利用多孔性固体吸附剂处理混合气体，吸附剂选择性高，活性炭属非极性吸附剂，对非极性化合物有较强的吸附能力，一般可净化低浓度VOCs，净化效率可达到90%以上。沸石浓缩转轮+焚烧方法使用的浓缩轮是一个装满吸附剂的旋转轮，废气由旋转轮的上游侧进入浓缩轮的吸附区，使VOCs得到浓缩，再经脱附燃烧处理，去除效率可在98%。但是相对来说投资就比较高了，有很多的企业无法接受动辄上百万的废气处理投资。