废气处理设备-催化燃烧炉，是工业上一种常用的净化装置。在有机废气的处理中具有较好的净化效率，同时它还具有能耗低、运行稳定等优点。
但该装置也存在一些缺陷：
（1）催化剂的活性易受温度和氧分压的影响；
（2）对含尘气体中的颗粒污染物不能有效去除；
（3）催化剂使用寿命较短等。
针对上述问题我们进行了研究，采用活性炭吸附塔+低温等离子体法进行废气处理的工艺流程如下：
1、工艺原理及特点该工艺以活性炭吸附器作为前级处理单元，通过高温热解炭与低温等离子体反应产生臭氧（o3）来氧化分解有机废气中的vocs物质，达到脱臭的目的。
2、主要设备活性炭吸附箱、低温等离子发生器、风机等。