晶圆清洗机，刻蚀设备

适应工件：2~8寸晶圆片清洗

批量产能：8寸25PCS/批

工艺流程：Cu蚀铜→-QDR→QDR←QDR-Ti刻蚀

工艺槽功能：循环过滤+加热冷却+上下抖动+花篮提升

主要材料：金属骨架+PVC/PPW壳板，槽体采用PPN/PVDF材质

运送方式：手动传送

节拍时间：5-15min可调