FWS-1000等离子体光谱仪技术指标
射频发生器
1. 电路类型:电感反馈式自激振荡电路,同轴电缆输出,匹配调谐,功率反馈闭环自动控制。
2. 工作频率:40MHz±0.05%
3. 频率稳定性:<0.1%
4. 输出功率:800W—1200W
5. 输出功率稳定性:<0.3%
6. 电磁场泄漏辐射强度:距机箱30cm处电场强度E:<2V/m
进样装置
输出工作线圈内径25mm,3匝
矩管:三同心型,外径20mm的石英矩管
同轴型喷雾器外径6mm
双筒形雾室外径34mm
氩气流量计规格和载气压力表规格:
等离子气流量计(100-1000)L/h (1.6-16L/min)
辅助气流量计(10-100)L/h (0.16-1.66L/min)
载气流量计(10-100)L/h (0.16-1.66L/min)
载气稳压阀(0-0.4MPa)
冷却水:水温:15-25℃ 流量>5L/min
水压>0.1MPa 冷却水:电阻率>1MΩ
分光器
1. 光路: Czerny-Turner mounting
2. 焦距: 1000 mm
3. 光栅规格: 离子刻蚀全息光栅,
刻线密度3600线/mm,
刻线面积(80×110) mm
(可选用刻线密度2400线/mm,刻线面积:80×110mm
4. 线色散率倒数:0.26nm/mm
5.分辨率: ≤ 0.008nm
6. 扫描波长范围:
3600线/mm扫描波长范围:195—500 nm
2400线/mm扫描波长范围:195—800 nm
7. 步进电机驱动小步距: 0.0006 nm
8. 出射、入射狭缝:20μm
9. 反射镜规格: (78×105×16)mm
10. 透镜φ30,1:1成像
11. 分光器恒温装置:32℃±1℃
光电转换装置
1. 光电倍增管规格:R212UH或R928
2. 光电倍增管负高压:200-1000V 稳定性<0.05%
3. 光电倍增管电流测量范围:1nA~100μA
4. 信号采集为v/F交换:1mV对应100Hz