集成电路行业废气处理设备

当今是以集成电路技术为核心的数字信息时代，在集成电路制造的过程中会产生大量的有机污染物、无机污染物等有毒有害气体。

集成电路行业废气介绍

主要来源：在集成电路制程工艺中，会经常使用硫酸、盐酸、显影剂、光刻胶、清洁剂、蚀刻液，而产生大量的酸碱和有机废气。 

主要成分：

1. 有机废气：非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等；

2. 酸性废气：硫酸雾、氯化物、氯气； 

3.碱性废气：氨气、氟化物等； 

4.一般排气：无害气体。

主要危害：

1. 集成电路制程工艺经常使用化学药剂，如硫酸、盐酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有机卤化物，易造成对大气环境的污染；

2. 在整机装配过程中产生的机械噪声和少量粉尘也会造成环境污染，这些污染气体会造成人群慢性或急性中毒。

集成电路行业废气处理设备介绍

 常用的工业废气处理工艺有：酸碱中和法、活性炭吸附法、催化燃烧法、直接燃烧法、等离子法、吸收法、冷凝法等。 集成电路制造行业因废气性质、成分不同，其废气处理处理方案也有所差异，结合工业废气处理工艺，集成电路行业废气处理方案主要有以下几种：

1、集成电路酸碱性废气处理

 集成电路行业酸性废气处理方法，主要采用酸碱中和法，通过废气洗涤塔气液交叉接触，碱液喷淋洗涤即可净化酸性废气。

2、集成电路有机废气处理

 集成电路行业有机废气处理方法，通常先用活性炭对VOCs进行吸附浓缩之后，再用催化燃烧法进行分解。

3、 一般排气无需处理，直接排放即可。集成电路行业废气处理设备