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酸碱废气处理设备生产厂家

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酸碱废气处理设备生产厂家

1.酸碱废气概述

工业酸碱废气主要来源于化工、电子、冶金、电镀、纺织(化纤)、食品、机械制造等行业生产过程中排放的酸、碱性废气,其排放至室内对人体健康有危害,排放至室外对大气、土壤、植物、建筑等有危害,为人类和环境营造良好的生存空间,合理处理废气中的酸碱性气体是控制大气污染的必要措施。酸碱废气处理通常用到喷淋塔,这里统称为酸碱喷淋塔。

2.酸碱喷淋塔工作原理

酸碱喷淋塔主要的运作方式是不断酸雾废气由风管引入净化塔,经过填料层,废气与氢氧化钠吸收液进行气液两相充分接触吸收中和反应,酸雾废气经过净化后,再经除雾板脱水除雾后由风机排入大气。吸收液在塔底经水泵增压后在塔顶喷淋而下,之后回流至塔底循环使用。净化后的酸雾废气达到地方排放标准的排放要求,低于国家排放标准。

3.酸碱喷淋塔的结构组成

酸碱废气处理塔分单塔体和双塔体。采用圆形塔体,用法兰分段连接而成。具体由贮液箱、塔体、进风段、喷淋层、填料层、旋流除雾层、出风锥帽、观检孔等组成。

4.酸碱喷淋塔特点

(1)工艺简单,管理、操作及维修相当方便简洁,不会对车间的生产造成任何影响。

(2)压降较低,操作弹性大,且具有很好的除雾性能。

(3)净化处理效果较好,去除率可高达95%以上。

5.酸碱废气处理工艺流程

酸碱废气处理具体工艺流程:去除的酸雾废气→进入风管→经过酸碱喷淋塔净化处理→风机→风管→达标排放。

6.酸碱喷淋塔适用范围

酸碱喷淋塔广泛应用于化工、电子、冶金、电镀、纺织(化纤)、食品、机械制造等行业生产过程中排放的酸、碱性废气的净化处理。

酸碱废气处理设备生产厂家

电子半导体行业酸碱性废气处理方法,推荐使用喷淋塔。这是因为半导体制造中产生的酸性和碱性废气采用分别收集、分别处理的方法,但处理设备和处理原理基本相同。

对于含有 酸性/碱性物质的废气,大都采用大型洗涤式中央废气处理系统进行处理。但是,有些情况下,由于半导体制造工作区域离中央废气处理系统距离较远,因此部分酸性/碱性废气在输送至中央废气处理系统前,常因气体特性导致在管路中结晶或粉尘堆积,造成管路堵塞后导致气体外泄,严重者甚至引发爆炸,危害现场工作人员的工作安全。

因此,在工作区域需配置适合制程气体特性的就地废气处理设备进行就地处理,之后再排入中央处理系统,而一些特殊的废气,包括剧毒、自燃、易爆等废气则需要先通过干式洗涤塔等设备通过吸附或氧化/燃烧等方法就地处理,之后再排人中央废气处理系统 。

 

1、酸碱性废气的来源

电子半导体行业中酸碱性废气的来源为化学清洗站,具有刺激性及有害人体,故酸碱性废气的处理方法一般是以湿式洗涤塔做水处理后再排入大气。洗涤塔利用床体或湿润的表面可以去除0.1微米以上的粒子。其气体与液体的接触方式有交叉(垂直交叉)流式、同向流式及逆向流式三种,而水流的设计上,有喷嘴式,喷雾式,颈式及拉西环式等四种。

 

2、以下半导体企业生产过程中产生的废气均可处理:

Ø  集成电路生产企业:主要包括数字集成电路板及模拟集成电路板生产企业。

Ø  分立器件生产企业:主要包括晶体二极管、三极管,整流二极管,功率二极管、化合物二极管等生产制造企业。

Ø  光电组件生产企业:包括LED、OLED、LCD、光伏太阳能等的生产制造企业。

由于半导体工艺对操作室清洁度要求*,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。

与半导体制造工艺相比,半导体封装工艺产生的废气较为简单,主要是酸性气体、环氧树脂及粉尘。酸性废气主要产生于电镀等工艺;烘烤废气则产生于晶粒粘贴、封胶后烘烤过程;划片机在晶片切割过程中,产生含微量矽尘的废气。

 

 

 

 
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