| 名称(Name) | 真空式等离子处理系统 |
| 型号(Model) | CRF-VPO-8L-S |
| 控制系统(Control system) | PLC+触摸屏 |
| 电源(Power supply) | 380V/AC,50/60Hz,3kw |
| 中频电源功率(MF Power) | 600W/13.56MHz |
| 容量(Volume) | 80L(Option) |
| 层数(Electrode of plies) | 8(Option) |
| 有效处理面积(Area) | 400(L)*300(W)(Option) |
| 气体通道(Gas) | 两路工作气体可选: Ar、N2、CF4、O2 |
超大处理空间,提升处理产能,采用PLC+触摸屏控制系统,精确的控制设备运行。
可按照客户要求定制设备腔体容量和层数,满足客户的需求。
保养维修成本低,便于客户成本控制。
高精度,快响应,良好的操控性和兼容性,完善的功能和专业的技术支持。



